TC-WAFER
即是將耐高溫感測線以特殊工法放置在晶圓(WAFER)
表面特定位置的感測器,可以即時的反應在各種位置下的溫度量測值,一目瞭然晶圓片整體溫度的分佈。
本公司已可製作到8"及12"晶圓片。
應用的地方:RTP.PVD.CVD.HT PLATE.FRUNACE.
         
產品服務:新品客製化、舊品維修
感溫線TYPEK-TYPET-TYPEJ-TYPE
晶圓材質:矽片、鋁片
溫度接點:1-30 (依客戶需求)
晶圓尺寸:2~12